何老是真正的專家，他曉得影響光刻機精度最首要的首要就是光源、光掩膜、物鏡。如果李帥這邊連這三樣都能搞定，那製造出高精度的光刻機，對他而言也就確切冇甚麼難度了。

廠區裡也非常的溫馨，並冇有鑼鼓喧天、紅旗招展、鞭炮齊鳴、人隱士海的歡迎場麵。

走進廠區，就見門路兩邊是剛砌起來冇多久的草坪，內裡種著香樟、桂花、紅楓、銀杏等花木。

“哎哎哎哎，老何！”

葉秘書長頓時哭笑不得：“光要了光刻機，忘了晶片的出產步調很多，早曉得應當管你要整套的工藝流程！”

說話間，世人走到了一座廠房側門口，又聽李帥先容道：“這裡是我們的晶圓出產部分，從矽的提煉提純，到單晶矽發展，再到後續的晶圓製備，統統流程在這內裡完成。

這時也秘書長笑道：“行了老何，彆矜著了，這趟歸去，帶幾個門徒過來，藉著小李這邊的廠子，多培養幾個像你如許的專家！”

他又看向李帥：“我們如果想出來看，是不是又得給錢？”

葉秘書長將這環境看在眼裡，也是笑嗬嗬地朝車間裡看去，就見內裡像是套娃一樣，大的鐵皮廠房內裡另有一個複合板材搭起來的無菌室，底子看不見設備和出產的流程。

“嗯，不錯！”葉秘書長給點了個讚，“很值得參考和學習！”

走進加工車間，溫度一下子就降了下來，跟內裡比擬的確太風涼了。

說著，李帥便順著過道搶先朝前走去。

李帥說著看向那些草坪樹木，提及來這些廠子買了以後，大半個月在改革，6號公佈光刻機研發勝利那天，實在員工進駐才一個禮拜。

“嗬嗬嗬嗬嗬......”葉秘書長手指導了點李帥，“膽量不小，擠兌起我來了！”

葉秘書長這邊就是清一色的乾軍步隊，挨次當然是按級彆來了，前麵大前麵小。

走出來後，又是套娃一樣的，大廠房內裡又是複合板材構建的大車間。

先是在塗布機這邊給晶圓大要塗上光刻膠，軟烘焙後送入光刻機。

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範圍確切小了點，每個流程都隻要一兩台機器，前麵另有等離子蝕刻機、離子注入機、氣相沉降機等等。

“目前廠子裡員工的技術次了點，但靠近異化氣體噴口的那一部分，倒也能做到11個9的純度！”李帥笑眯眯的說道。