這些技術困難，直接決定了反射鏡的數量與範例。這些鏡頭設想的細節，每一點改進都意味著間隔勝利更近了一步。

城三太郎翻開嘗試記錄，粗粗的掃了兩眼，不由得就是暗自心驚。各種光波在分歧材質當中穿行，產生的竄改都不不異。193nm的準分子鐳射，想要利用在光刻機上，就必須對鏡頭停止全新設想。在此之前就必須詳細的實驗新質料，全麵的體味鏡頭對鐳射產生的統統影響。

“色差賠償！”城三太郎微微一愣，臉上的神采就有些生硬了。如果說之前他還隻是思疑，那麼聽到江清月的研討內容，就幾近是坐實了泛翰個人在0.35微米工藝的技術上，必定是獲得了不小的衝破。色差賠償是光刻機研討範疇，非常首要的內容。通過使色差最小化，能夠按捺由鐳射帶寬變動所引發的光學鄰近效應。比如部分光斑、入射角和熱象差、偏振狀況節製才氣的保持。

一旁的日本翻譯，精確的將江清月的這句話翻譯了疇昔，這讓城三太郎麵前一亮。光刻機鏡頭的研發，是非常破鈔款項的。目前的亞微米階段，固然比將來的奈米期間要便宜的多，等閒也是要幾億美圓扔出來，才氣有點服從出來。一家中國企業，因為開辟光刻機而耗光了資金，彷彿並不是過分奇特的事情。

“我們的實驗正在測試高密度石英質料製作的鏡頭，在顛末多次反射折射以後，停止色差賠償的計劃……”

“小江，還不快把你們的嘗試記錄拿出來，給城三太郎先生看看？”趙大健說著，還回過身來道歉道：“城三先生是東芝方麵的光刻技術專家，您略微指導兩句，必定會讓我們獲益很多。”

準分子鐳射普通是由氙氣二聚體等惰性氣體或鹵素氣體，遭到電子束激起構成的鐳射。光子能量波長範圍在157－353nm之間，因為鐳射是在氣體遭到外來能量的激起，所引發的一係列物理及化學反應中，曾經構成但轉眼即逝的分子收回的，以是被稱之為準分子鐳射。

一七三所前研討員江清月，恰是在這個嘗試室裡，停止著本身的事情。所謂準分子鐳射，並非是對鐳射本身屬性停止的描述，而是特指的收回鐳射物質為準分子。